العودة إلى القائمة

فرن ترسيب كيميائي بالبخار CVD بالتسخين الحثي

جهاز فرن الترسيب الكيميائي بالبخار CVD بالتسخين بالحث يستخدم تسخينًا بالحث بتردد متوسط، الجهاز عمودي، مع هيكل رفع وخفض لقاع الفرن لتحميل وتفريغ المواد. نظام التحكم في درجة الحرارة يستخدم منظم حرارة ذكي من شركة شارب اليابانية (أو علامة تجارية من الدرجة الأولى مماثلة). يتكون الجهاز الكامل من جسم الفرن، مصدر طاقة التردد المتوسط، نظام التحكم الكهربائي، نظام التحكم في الغازات، ونظام التبريد بالماء.